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平台是中科院苏州纳米所重点建设的产业研究工程化项目，平台得到了中科院、省产研院、苏州工业园区各级领导的关心和支持，已建成超净室面积1300平方米，采购各类8寸晶圆微纳加工、封装和量测设备50多台/套，总投资近亿元。平台建成后将具备硅基微纳加工技术和系统集成技术，面向新型智能传感器和半导体器件开展工程化技术研究...
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