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集成微系统封装平台苏州纳米所
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集成微系统封装平台苏州纳米所
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集成微系统封装平台苏州纳米所
平台是中科院苏州纳米所重点建设的产业研究工程化项目,平台得到了中科院、省产研院、苏州工业园区各级领导的关心和支持,已建成超净室面积1300平方米,采购各类8寸晶圆微纳加工、封装和量测设备50多台/套,总投资近亿元。平台建成后将具备硅基微纳加工技术和系统集成技术,面向新型智能传感器和半导体器件开展工程化技术研究...
技术服务:
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官网地址:
http://mspc.sinano.ac.cn/
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